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Chlorine Trifluoride - 三氟化氯 - ( CLF3 )
三氟化氯_WECHEM_SH_MSDS.pdf 资料下载三氟化氯是一种腐蚀性，无色有甜味的气体，即使在低浓度时也有高度刺激性。它是强氧化性，在高温时能够点燃许多有机化合物和许多金属。遇水产生猛烈反应，在其自身压力下，被作为液化性气体运输。
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规格 |
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| 纯度，% | 99.9 |
| 氧气 | ≤20 ppmv |
| 氮气 | ≤50 ppmv |
| 硫化氢 | ≤700 ppmv |
| 运输 | |
| DOT 运输名称 | 三氟化氯 |
| DOT 分类 | 2.3 |
| DOT 标签 | 毒气，氧化剂及腐蚀性 |
| UN NO. | UN 1045 |
| CAS No. | 7664-41-7 |
| CGA/DISS | 670/728 |
| 运输状态 | 液化性气体 |
| 技术信息 | |
| 钢瓶状况 @ 21.1°C | 液体 |
| 在空气中的燃烧极限 | 不可燃 |
| 自然温度 (°C ) | - |
| 分子量 (g/mol) | 66.007 |
| 比重 ( 空气 =1) | 3.14 |
| 临界温度 ( °C ) | 23.85 |
| 临界温度 ( psig ) | 823.2 |
| 应用 | |
| 在半导体工业中，三氟化氯用于清洗化学气相沉积腔室。它的优势是可以用于从室壁去除半导体材料，而不必拆卸腔室。不像大部分替代品，它不需要使用等离子体的激活，腔室的热量足以使其分解并与半导体材料反应。 | |