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四氟化碳 - (CF4)
描述
四氟化碳是一种无色,相对无毒,不燃,具有轻微醚样气味的气体。作为一种压缩气体运输。 
规格
纯度 , % 99.9 99.999
氧气 ≤100 ppmv ≤1.0 ppmv
氮气 ≤400 ppmv ≤4.0 ppmv
二氧化碳 ≤80 ppmv ≤0.5 ppmv
一氧化碳 ≤50 ppmv ≤0.5 ppmv
甲烷 ≤50 ppmv ≤0.5 ppmv
气体碳氢 ≤100 ppmv ≤2.0 ppmv
水分 ≤10   ppmv ≤2.0   ppmv
六氟化硫 ≤15 ppmv ≤1.0 ppmv
酸度 as HF ≤1.0ppmv ≤0.1ppmv
运输
DOT 运输名称 四氟化碳,压缩的
DOT 分类 2.2
DOT 标签 不可燃气体
UN NO. UN1982
CAS No. 75-73-0
CGA/DISS/JIS 320/716/W22-14L
运输状态 压缩性气体
技术信息
钢瓶状况 @ 21.1°C  气体
在空气中的燃烧极限 不可燃
自然温度 (°C ) 不可燃
分子量 (g/mol) 88.01
比重 ( 空气 =1) 3.04
临界温度 ( °C ) -45.65
临界温度 ( psig ) 528.459
应用
四氟化碳是目前微电子工业用量最大的等离子蚀刻气体,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,激光技术,气相绝缘低温制冷,泄露检验剂,印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。