上海众巍化学有限公司

产品服务
三氟甲烷 - (CHF3)
描述
三氟甲烷是一种无色,不燃的液化性气体。在其自身蒸汽压力下作为一种液化性气体运输。
规格
纯度 , % 99.9 99.999
氧气 ≤80 ppmv ≤1.0 ppmv
氮气 ≤300 ppmv ≤4.0 ppmv
二氧化碳 ≤50 ppmv ≤0.5 ppmv
一氧化碳 ≤30 ppmv ≤0.5 ppmv
甲烷 ≤30 ppmv ≤0.5 ppmv
其他有机物 ≤400ppmv ≤2.0 ppmv
水分 ≤10.0 ppmv ≤2.0 ppmv
酸度 as HCL ≤1.0 ppmv ≤0.1 ppmv
运输
DOT 运输名称 三氟甲烷
DOT 分类 2.2
DOT 标签 不可燃气体
UN NO. UN 1984
CAS No. 75-46-7
CGA/DISS/JIS 660/716/W22-14L
运输状态 液化性气体
技术信息
钢瓶状况 @ 21.1°C  液体
在空气中的燃烧极限 不可燃
自然温度 (°C ) 不可燃
分子量 (g/mol) 70
比重 ( 空气 =1) 2.436
临界温度 ( °C ) 178.43
临界温度 ( psig ) 686.719
应用
·三氟甲烷是使用在氧化硅或氮化硅层的等离子蚀刻。
·氟甲烷是一个低温制冷剂,用于替换R22.