上海众巍化学有限公司

产品服务
一氟甲烷 - (CH3F)
描述
一氟甲烷在标准温度和压力下,无毒,液化的可燃性气体。
规格
纯度 , % 99.99 99.995
氧气 ≤20  ppbv ≤5  ppmv
氮气 ≤70 ppbv ≤20 ppmv
二氧化碳 ≤10 ppmv
一氧化碳 ≤10 ppmv
甲烷 ≤5 ppmv
水分 ≤10 ppbv ≤2 ppmv
运输
DOT 运输名称 一氟甲烷
DOT 分类 2.1
DOT 标签 可燃气体
UN NO. UN2810
CAS No. 593/53/3
CGA/DISS/JIS 350/724/W22-14L
运输状态 液化性气体
技术信息
钢瓶状况 @ 21.1°C  液体
在空气中的燃烧极限 -
自然温度 (°C ) -18
分子量 (g/mol) 34.03
比重 ( 空气 =1) 1.18
临界温度 ( °C ) 45
临界温度 ( psig ) -
应用
在半导体制造中,一氟甲烷是硅化合物薄膜的等离子刻蚀气体。