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二氟甲烷 - (CH2F2)
描述
二氟甲烷是一种无色,易燃,具有轻微醚样气味的气体。在其自身蒸汽压力下被作为液化性气体运输。
规格
纯度,% 99.99
氧气 ≤10  ppmv
氮气 ≤40 ppmv
二氧化碳 ≤5 ppmv
水分 ≤15 ppmv
酸度 as HCL ≤0.2 ppmw
运输
DOT 运输名称 二氟甲烷
DOT 分类 2.1
DOT 标签 不可燃气体
UN NO. UN 3252
CAS No. 1975/10/5
CGA/DISS/JIS 350/724/W22-14L
运输状态 液化性气体
技术信息
钢瓶状况 @ 21.1°C  液体
在空气中的燃烧极限
自然温度 (°C ) -18
分子量 (g/mol) 52
比重 ( 空气 =1) 1.803
临界温度 ( °C ) 78.4
临界温度 ( psig )
应用
二氟甲烷被用作硅层的等离子体蚀刻气体。