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八氟环丁烷 - (C4F8)
描述
八氟环丁烷是一种不易燃,无色,无臭无味的气体。在其自身蒸汽压力下被作为液化性气体运输。
规格
纯度 , % 99.9 99.999
氧气 ≤80 ppmv ≤1.0 ppmv
氮气 ≤300 ppmv ≤3.0 ppmv
二氧化碳 ≤50ppmv ≤0.5ppmv
一氧化碳 ≤30 ppmv ≤0.5 ppmv
甲烷 ≤30 ppmv ≤0.5 ppmv
水分 ≤10 ppmv ≤3.0 ppmv
其他有机物 ≤600 ppmv ≤5.0 ppmv
酸度 as HCL  ≤1.0 ppmw ≤0.1 ppmw
运输
DOT 运输名称 八氟环丁烷
DOT 分类 2.2
DOT 标签 不可燃气体
UN NO. UN 1976
CAS No. 115-25-3
CGA/DISS/JIS 660/716/W22-14L
运输状态 液化性气体
技术信息
钢瓶状况 @ 21.1°C  液体
在空气中的燃烧极限 不可燃
自然温度 (°C ) -
分子量 (g/mol) 200.03
比重 ( 空气 =1) 7.33
临界温度 ( °C ) 115.2
临界温度 ( psig ) -
应用
在半导体制程中, 八氟环丁烷被用作二氧化硅和硅层的等离子蚀刻气体。