上海众巍化学有限公司

产品服务
六氟-1,3-丁二烯 - (C4F6)
描述
-
规格
纯度,% 99.9
氩气 + 氧气 ≤10 ppmv
氮气 ≤40 ppmv
二氧化碳 ≤20 ppmv
一氧化碳 ≤7 ppmv
其他氟碳 ≤700 ppmv
氟化氢  ≤10 ppmv
运输
DOT 运输名称 液化性气体,有毒 ,可燃
DOT 分类 2.1 , 2.3
DOT 标签 液化性气体,有毒 ,可燃
UN NO. UN 3160
CAS No. 685-63-21
CGA/DISS 638
运输状态 液化性气体
技术信息
钢瓶状况 @ 21.1°C  Liquid
在空气中的燃烧极限 -
自然温度 (°C ) -
分子量 (g/mol) 162.03
比重 ( 空气 =1) -
临界温度 ( °C ) 139.6
临界温度 ( psig ) -
应用
在LSI生产过程中所需要的下一代核心材料,用于最大限度地减少电路线宽度和深度。该干蚀刻气体用在微接触孔的蚀刻制程。对于基于CxFy化学公式的特殊气体,F/C 值越小,生产的CF2 基团越多。与C2F6 C3F8 相比,C4F6 的F/C 比值更小,产生的CF2 基团更多,这反过来,蚀刻氧化膜更多。因此,C4F6具有对氧化膜更高的选择性,并允许更均匀的蚀刻。