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氯化氢 - (HCl)
描述
氯化氢是一种无色,腐蚀,有毒,不易燃,有刺激性气味的气体。对粘膜有很强刺激性。氯化氢比空气重,在潮湿空气中形成浓密烟雾,并对水具有极大的亲和力。在其自身蒸汽压力下被作为液化性气体运输。
规格
纯度 , % 99.9 99.999
氧气 ≤10 ppmv ≤ 0.5 ppmv
氮气 ≤10.0  ppmv ≤ 2  ppmv
二氧化碳 ≤5.0 ppmv  ≤2.0 ppmv 
一氧化碳 ≤5.0 ppmv  ≤1.0 ppmv
甲烷 ≤5.0 ppmv  ≤0.3 ppmv
水分 ≤2.0 ppmv  ≤1.0 ppmv
铁离子 ≤1.0 
运输
DOT 运输名称 氯化氢,无水
DOT 分类 2.3
DOT 标签  毒气,吸入有害,腐蚀性气体
UN NO. UN 1050
CAS No. 7647-01-0
CGA/DISS/JIS/BS341/DIN477 330/634/W26-14R/NO.6/NO.8
运输状态 液化性气体
技术信息
钢瓶状况 @ 21.1°C  液体
在空气中的燃烧极限 不可燃
自然温度 (°C ) -
分子量 (g/mol) 36.461
比重 ( 空气 =1) 1.19
临界温度 ( °C ) 51.54
临界温度 ( psig ) 1185
应用
·在电子工业中, 选择性蚀刻。
·
在半导体制造:在外延沉积前用于蚀刻天然氧化物;CVD 反应釜清洗, CVD 氧化物除水。