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三氟化氮 - (NF3)
描述
三氟化氮是一种无色的,稳定的,氧化性有毒且带有发霉气味的气体。作为非液化性气体运输。
规格
纯度,% 99.99
氧气 ≤3.0 ppmv
氮气 ≤5.0 ppmv
二氧化碳 ≤1.0 ppmv
一氧化碳 ≤1.0 ppmv
甲烷 ≤1.0 ppmv
水分 ≤1.0 ppmv
四氟化碳 ≤1.0 ppmv
氧化亚氮 ≤2.0 ppmv
六氟化硫 ≤1.0 ppmv
氢氟酸 ≤1.0 ppmv
运输
DOT 运输名称 三氟化氮
DOT 分类 2.2
DOT 标签 不可燃气体,氧化性
UN NO. UN 2451
CAS No. 7783-54-2
DISS/JIS/DIN477 640/W22-14L/NO.6
运输状态 液化性气体
技术信息
钢瓶状况 @ 21.1°C  气体
在空气中的燃烧极限 不可燃
自然温度 (°C ) -
分子量 (g/mol) 71
比重 ( 空气 =1) 2.46
临界温度 ( °C ) -39.15
临界温度 ( psig ) 632.19
应用

·用于半导体、TFT-LCD 以及光伏电池制造过程中的化学气相沉积(CVD ) 工程,是用于去除制程室 Chamber  内壁上的残留物质的特种气体。