上海众巍化学有限公司

产品服务
磷烷 - (PH3)

描述
磷化氢是一种剧毒,易燃,无色有类似腐烂的鱼类的恶臭气体。气味是主观的,因此不可靠的,不应被作为是检测否存在气体的标准。可自燃,作为液化性气体运输。
规格
纯度,% 99.6 99.9997 99.9999
氧气 ≤ 1 ppmw  ≤0.1 ppmv  ≤0.1 ppmv 
氢气 ≤ 0.4%
氮气 ≤1.0 ppmv  ≤0.1 ppmv 
二氧化碳 ≤0.1 ppmv  ≤0.1 ppmv 
一氧化碳 ≤0.1 ppmv  ≤0.05 ppmv 
甲烷 ≤0.1 ppmv  ≤0.1 ppmv 
水分 ≤1.0 ppmv  ≤0.1 ppmv 
氩气 ≤0.1 ppmv 
砷烷 ≤0.05 ppmv 
锗烷 ≤0.05 ppmv 
硫化氢 ≤0.05 ppmv 
硅烷 ≤0.05 ppmv 
运输
DOT 运输名称 磷烷
DOT 分类 2.3
DOT 标签 有毒, 可燃气体
UN NO. UN 2199
CAS No. 7803-51-2
CGA/DISS/JIS/BS341/DIN477 350/632/W22-14L/NO.4/NO.1
运输状态 液化性气体
技术信息
钢瓶状况 @ 21.1°C  液体
在空气中的燃烧极限 1.6-98%
自然温度 (°C ) 40
分子量 (g/mol) 33.998
比重 ( 空气 =1) 1.17
临界温度 ( °C ) 51.6
临界温度 ( psig ) 933.2
应用
· 在半导体制造中,作为n型掺杂剂
· 在半导体制造中,外延硅的制程
· 在半导体制造中,晶源上选择区域的掺杂。
· 在半导体制造,用于掺杂多晶硅的互连或某些电容
· 在半导体制造中,用于形成硼磷硅玻璃
· 在半导体制造中,离子注入。