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硅烷 - (SiH4)
描述
硅烷是一种无色,可燃性气体,有类似于乙酸的气味。(数据表明,硅烷不是在所有的情况下都会自燃)。
规格
纯度,% 99.9999
氧气+ 氩气 ≤0.06 ppmv 
氮气 ≤0.5 ppmv 
二氧化碳 ≤0.05 ppmv 
氢气 ≤20.0 ppmv 
一氧化碳 ≤0.08 ppmv 
水分 ≤0.5 ppmv 
甲烷 ≤0.04 ppmv 
氦气 ≤1.0ppmv 
碳氢(Sum of C2-C4) ≤0.1 ppmv 
总氯硅烷 ≤0.1 ppmv 
乙硅烷 ≤0.5 ppmv 
二硅氧烷 ≤0.05 ppmv 
电阻率,N型 ( ohm-cm) >2500
运输
DOT 运输名称 硅烷
DOT 分类 2.1
DOT 标签 可燃气体
UN NO. UN 2203
CAS No. 7803-62-5
CGA/DISS/JIS/BS341/DIN477 350/632/W22-14L/NO.3/NO.1
运输状态 压缩性气体
技术信息
钢瓶状况 @ 21.1°C  气体
在空气中的燃烧极限 1.37-97%
自然温度 (°C ) -50
分子量 (g/mol) 32.117
比重 ( 空气 =1) 1.11
临界温度 ( °C ) 3.45
临界温度 ( psig ) 687.8
应用
· 主要应用于半导体、FTF-LCD 、太阳能电池片及节能玻璃之化学气相沉积(CVD )薄膜制程。在半导体上的用途是以Si 为主的成膜,而在TFT-LCD 上则用于玻璃基板上的非晶硅成膜,另用于太阳能电池片则是形成抗反射膜以提高发电效率。