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四氯化硅 - (SiCl4)
描述
四氯化硅是一种具有腐蚀性,无色,不可燃体,具有窒息性气味。蒸气会刺激粘膜,暴露于潮湿的空气中会形成致密的烟雾。在潮湿的空气中迅速水解,释放的氯化氢。
规格
纯度,% 99.94
电阻率  ≥ 300 ohm-cm
≤ 0.3 ppba silicon 
≤ 50 ppbw
≤ 1.0 ppma 
≤ 50  ppbw
其他氯硅烷 ≤ 600 ppm
运输
DOT 运输名称 四氯化硅
DOT 分类 8 ( 腐蚀材料)
DOT 标签 腐蚀
UN NO. UN 1818 
CAS No. 1026-04-7
运输状态 液化性气体
技术信息
钢瓶状况 @ 21.1°C  液体
在空气中的燃烧极限 不可燃
自然温度 (°C ) -
分子量 (g/mol) 169.89
比重 ( 空气 =1) 5.889
临界温度 ( °C ) 233.85
临界温度 ( psig ) 529.05
应用
· 在半导体制造中,外延硅的应用。
· 在半导体制造中,金属等离子体的蚀刻。
· 在有机硅工艺。
· 熔融石英纤维的制造。