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产品服务
四氟化硅 - (SiF4)
描述
四氟化硅是一种无色,有毒,不可燃气体。会刺激粘膜。四氟化硅在潮湿的空气中形成致密烟雾,并迅速水解形成氟硅酸和氟化氢。
规格
纯度 , % 99.99
氧气 ≤1.0 ppmv 
氮气 ≤3.0 ppmv 
二氧化碳 ≤1.0 ppmv 
一氧化碳 ≤0.5 ppmv 
总碳氢 ( CH4) ≤10.0 ppmv 
≤0.5 ppmv 
≤0.5 ppmv 
≤0.5 ppmv 
氟化氢 ≤50.0ppmv 
运输
DOT 运输名称 四氟化硅
DOT 分类 2.3
DOT 标签 有毒,腐蚀
UN NO. UN 1859
CAS No. 7783-61-1
CGA/DISS/JIS 330/642/W22-14L
运输状态 压缩性气体
技术信息
钢瓶状况 @ 21.1°C  Gas
在空气中的燃烧极限 不可燃
自然温度 (°C ) -
分子量 (g/mol) 104.08
比重 ( 空气 =1) 4.67
临界温度 ( °C ) -14.15
临界温度 ( psig ) 524.59
应用
· 用于化学气相淀积工序;制备氟硅酸及其盐类。