三氯氢硅 - (SiHCl3/TCS)
| 描述 | |||
| 三氯氢硅是一种具有腐蚀性，无色，易燃液体，有窒息性气味。蒸气会刺激粘膜,当暴露于潮湿的空气中会形成密集的烟雾在潮湿的空气中迅速水解，形成氯化氢。用特殊的不锈钢钢瓶充装，这种钢瓶可以提供气态也可以提供液态的三氯氢硅。 | |||
| 规格 | |||
| 纯度，% | 99.95 | ||
| 电阻率 | ≥ 300 ohm-cm | ||
| 硼 | ≤ 0.1 ppba silicon | ||
| 碳 | ≤ 5 ppma | ||
| 铁 | ≤ 5 ppba | ||
| 其他氯硅烷 | ≤ 500 ppm | ||
| 运输 |  | ||
| DOT 运输名称 | 三氯氢硅 | ||
| DOT 分类 | 4.3 | ||
| DOT 标签 | 可燃液体，腐蚀 | ||
| UN NO. | UN 1295 | ||
| CAS No. | 10025-78-2 | ||
| 技术信息 | |||
| 钢瓶状况 @ 21.1°C | 液体 | ||
| 在空气中的燃烧极限 | 7-83% | ||
| 自然温度 (°C ) | 182 | ||
| 分子量 (g/mol) | 135.45 | ||
| 比重 ( 空气 =1) | 4.67 | ||
| 临界温度 ( °C ) | 242.5 | ||
| 临界温度 ( psig ) | |||
| 应用 | |||
| · 在有机硅化学反应。 · 在半导体制造：硅的外延沉积。 | |||