三氯氢硅 - (SiHCl3/TCS)
描述 | |||
三氯氢硅是一种具有腐蚀性,无色,易燃液体,有窒息性气味。蒸气会刺激粘膜,当暴露于潮湿的空气中会形成密集的烟雾在潮湿的空气中迅速水解,形成氯化氢。用特殊的不锈钢钢瓶充装,这种钢瓶可以提供气态也可以提供液态的三氯氢硅。 | |||
规格 | |||
纯度,% | 99.95 | ||
电阻率 | ≥ 300 ohm-cm | ||
硼 | ≤ 0.1 ppba silicon | ||
碳 | ≤ 5 ppma | ||
铁 | ≤ 5 ppba | ||
其他氯硅烷 | ≤ 500 ppm | ||
运输 | ![]() | ||
DOT 运输名称 | 三氯氢硅 | ||
DOT 分类 | 4.3 | ||
DOT 标签 | 可燃液体,腐蚀 | ||
UN NO. | UN 1295 | ||
CAS No. | 10025-78-2 | ||
技术信息 | |||
钢瓶状况 @ 21.1°C | 液体 | ||
在空气中的燃烧极限 | 7-83% | ||
自然温度 (°C ) | 182 | ||
分子量 (g/mol) | 135.45 | ||
比重 ( 空气 =1) | 4.67 | ||
临界温度 ( °C ) | 242.5 | ||
临界温度 ( psig ) | |||
应用 | |||
· 在有机硅化学反应。 · 在半导体制造:硅的外延沉积。 | |||