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三氯氢硅 - (SiHCl3/TCS)
描述
三氯氢硅是一种具有腐蚀性,无色,易燃液体,有窒息性气味。蒸气会刺激粘膜,当暴露于潮湿的空气中会形成密集的烟雾在潮湿的空气中迅速水解,形成氯化氢。用特殊的不锈钢钢瓶充装,这种钢瓶可以提供气态也可以提供液态的三氯氢硅。
规格
纯度,% 99.95
电阻率  ≥ 300 ohm-cm
≤ 0.1 ppba silicon 
≤ 5 ppma
≤ 5 ppba
其他氯硅烷 ≤ 500 ppm
运输
DOT 运输名称 三氯氢硅
DOT 分类 4.3
DOT 标签 可燃液体,腐蚀
UN NO. UN 1295
CAS No. 10025-78-2
技术信息
钢瓶状况 @ 21.1°C  液体
在空气中的燃烧极限 7-83%
自然温度 (°C ) 182
分子量 (g/mol) 135.45
比重 ( 空气 =1) 4.67
临界温度 ( °C ) 242.5
临界温度 ( psig )
应用
· 在有机硅化学反应。
· 在半导体制造:硅的外延沉积。