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六氟化钨 - (WF6)
描述
六氟化钨是一种浅黄色的,有毒,不易燃,无臭,极强腐蚀性气体。与水激烈反应形成氢氟酸。充装在镍气瓶里面的液化性气体。
规格
纯度 , % 99.9995%
氧气 ≤ 0.5  ppmv
氮气 ≤ 0.5  ppmv
二氧化碳 ≤ 0.5  ppmv
一氧化碳 ≤ 0.5  ppmv
四氟化碳 ≤ 0.5  ppmv
四氟化硅 ≤ 0.5  ppmv
六氟化硫 ≤ 0.5  ppmv
酸度( HF ) ≤ 0.5  ppmv
运输
DOT 运输名称 六氟化钨
DOT 分类 2.3
DOT 标签 毒气,腐蚀
UN NO. UN 2196
CAS No. 7783 - 82 -6
CGA/DISS/JIS 670/638/W22-14R
运输状态 液化性气体
技术信息
钢瓶状况 @ 21.1°C  液体
在空气中的燃烧极限 不可燃
自然温度 (°C ) -
分子量 (g/mol) 297.84
比重 ( 空气 =1) 10.674
临界温度 ( °C ) 169.67
临界温度 ( psig ) 604.6
应用
· 用于半导体工程,在化学气相沉积( CVD ) 工程中作为金属触点( Metal Contact ) 形成的用途,主要用于半导体制作工程中,作为形成接点插座( Contract Plug ) 的金属材料。