上海众巍化学有限公司

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三氯氧磷 - (POCl3)
分子式 POCl3
分子量 153.35
理化性质
无色透明挥发性液体,具有强烈的刺激性气味。易水解于潮湿的空气中,生成磷酸和盐酸。熔点为1.25℃,沸点为102℃,相对密度为1.675。蒸发热33.7kJ/mol。接近300℃时,仍很稳定。遇到大量水时会发生爆炸。有毒性和腐蚀性。
用途
主要用于芯片的N型掺杂,是制作集成电路、太阳能电池、光纤预制棒、分离器件等的液态磷源,是芯片制程中必须的电子化学品,同时电子级三氯氧磷也是制作高纯磷酸酯的原料。
质量指标
分析项目 技术指标(ppb) 分析项目 技术指标(ppb)
6N 7N 6N 7N
As,max 30 6 Mg,max 20 5
Ba,max 20 1 Mn,max 30 1
Ca,max 30 5 Ni,max 20 1
Co,max 20 1 Pb,max 10 3
Cu,max 20 2 Sr,max 5 1
Cr,max 20 1 Ti,max 5 2
Fe,max 40 5 Zn,max 5 1
Al,max 40 5 K,max 30 3
Ag,max 1 1 Li,max 10 6
Au,max 1 1 Na,max 10 5
Bi,max 10 1 Nb,max 2 1
Ga,max 1 1 Sn,max 5 1
Hg,max 10 5 含量,min 99.90% 99.90%
色度,max 5 5

颗粒物,

Size,#/ml

≥0.3um, 

50max

≥0.3um, 

50max

包装
容   器 石英玻璃源瓶或内衬PFA材料钢桶。
外包装 容器外套厚质PVC塑料袋;PE塑料专用箱内置海绵缓冲垫。
规   格   400ml、1000ml、1500ml、20L,也可以根据用户的要求进行包装。