上海众巍化学有限公司

产品服务
反式-1,2-二氯乙烯 - (DCE/TRANS-LC)
1、化学式  C2H2Cl2
2、分子量 96.94
3、CAS号 156-60-5
4、理化性质
无色略带刺激气味液体,熔点-57℃,沸点48℃,密度1.265g/ml。易燃,其蒸气与空气可形成爆炸性混合物。与氧化剂能发生强烈反应。与酸碱需隔离存放。
5、主要用途:
高纯度氯源,主要用于晶圆制造过程中加快硅片氧化和清洗炉管。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)、光伏制造业所需的电子化学品。
6、质量标准:
项目Item

标准值Standard 

Value

项目Item

标准值Standard 

Value

纯  度 7.5N Mn,max 0.1ppb
Al,max 0.3ppb Na,max 0.2ppb
Ag,max 0.1ppb Ni,max 0.1ppb
As,max 0.1ppb Nb,max 0.1ppb
Au,max 0.1ppb P,max 1.0ppb
B,max 1.0ppb Pb,max 0.1ppb
Ba,max 0.1ppb Sb,max 0.1ppb
Bi,max 0.1ppb Sn,max 0.1ppb
Ca,max 0.8ppb Sr,max 0.1ppb
Cd,max 0.1ppb Ti,max 0.1ppb
Co,max 0.1ppb Zn,max 0.2ppb
Cu,max 0.1ppb 酸度 max 5ppm
Cr,max 0.1ppb 水份 max 20ppm
Fe,max 0.6ppb

颗粒数

0.1µm max

5p/ml
Ga,max 0.1ppb

颗粒数

0.2µm max

3p/ml
Hg,max 0.1ppb

颗粒数

0.5µm max

1p/ml
K,max 0.2ppb 色度 <10APHA
Li,max 0.1ppb 外观

无色透

明液体

Mg,max 0.1ppb 保质期 24个月
7、包装方式
容器 石英源瓶
规格 1500ml, 1000ml, 500ml, 400ml
外包装 容器外套厚质PVC胶袋,PE专用箱内置海绵缓冲