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三氟化硼 - (BF3)
描述
三氟化硼是一种无色,具有腐蚀性,不可燃,有毒,有刺激性,窒息性的气体。在潮湿的空气中形成致密的烟雾。三氟化硼刺激粘膜。它可溶于水分解形成氟酸。可水解在潮湿空气中。三氟化硼作为高压压缩气体运输。
规格
纯度 , % 99.5 99.995
氧气+氮气+ 氩气 ≤10 ppmv
二氧化碳 ≤ 10 ppmv
惰性气体(氧气+氮气+二氧化碳) ≤ 4000 ppm
二氧化硫 ≤ 20 ppm ≤ 10 ppmv
四氟化硅 ≤ 300 ppm ≤3  ppmv
水分 ≤ 0.3 %
运输
DOT 运输名称 三氟化硼,压缩的
DOT 分类 2.3
DOT 标签 毒气/ 吸入危害
UN NO. UN1008
CAS No. 7637/7/2
CGA/DISS/JIS/DIN477 330/642/W22-14L/NO.8
运输状态 压缩气体
技术信息
钢瓶状况 @ 21.1°C  气体
在空气中的燃烧极限 不可燃
自然温度 (°C ) -
分子量 (g/mol) 67.805
比重 ( 空气 =1) 2.32
临界温度 ( °C ) -12.25 
临界温度 ( psig ) 708.32
应用
·在半导体制造中,三氯化硼是用于在硅片上的P型扩散.
·离子注入