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三氯化硼 - (BCl3)
描述
三氯化硼是一种无色,有腐蚀性,不可燃的毒气,带有刺激性,刺鼻的气味,在潮湿的空气中形成致密的烟雾。三氯化硼能刺激粘膜。在潮湿的空气中水解,形成氯化氢。在其蒸汽压力下作为液化性气体运输。
规格
纯度 , % 99.9 99.999
自由氯气 ≤100 ppmw
光气 ≤100 ppmw
氧气 ≤1.0 ppmv
氮气 ≤1.0 ppmv
二氧化碳 ≤1.0 ppmv
一氧化碳 ≤1.0 ppmv
水分
运输
DOT 运输名称 三氯化硼 
DOT 分类 2.3
DOT 标签 毒气/呼吸危害,腐蚀
UN NO. UN1741
CAS No. 10294-34-5
CGA/DISS/JIS 660/634/W22-14L
运输状态 液化性气体
技术信息
钢瓶状况 @ 21.1°C  液体
在空气中的燃烧极限 不可燃
自然温度 (°C ) -
分子量 (g/mol) 117.17
比重 ( 空气 =1) 4.04
临界温度 ( °C ) 178.8
临界温度 ( psig ) 546.6
应用
·在半导体制造中,三氯化硼是用于在硅片上的P型扩散。
·离子注入。
·金属等离子体蚀刻。
·在各种化学反应。