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三氟化氯 - (ClF3)
描述
三氟化氯是一种腐蚀性,无色有甜味的气体,即使在低浓度时也有高度刺激性。它是强氧化性,在高温时能够点燃许多有机化合物和许多金属。遇水产生猛烈反应,在其自身压力下,被作为液化性气体运输。
规格
纯度,% 99.9
氧气 ≤20  ppmv
氮气 ≤50  ppmv
硫化氢 ≤700  ppmv
运输
DOT 运输名称 三氟化氯
DOT 分类 2.3
DOT 标签 毒气,氧化剂及腐蚀性
UN NO. UN 1045
CAS No. 7664-41-7
CGA/DISS 670/728
运输状态 液化性气体
技术信息
钢瓶状况 @ 21.1°C  液体
在空气中的燃烧极限 不可燃
自然温度 (°C ) -
分子量 (g/mol) 66.007
比重 ( 空气 =1) 3.14
临界温度 ( °C ) 23.85
临界温度 ( psig ) 823.2
应用
在半导体工业中,三氟化氯用于清洗化学气相沉积腔室。它的优势是可以用于从室壁去除半导体材料,而不必拆卸腔室。不像大部分替代品,它不需要使用等离子体的激活,腔室的热量足以使其分解并与半导体材料反应。