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二氯二氢硅 - (DCS)
描述
二氯二氢硅 是剧毒,无色,易燃,液化性气体,具有强烈的刺激性气味。与水接触水解形成盐酸。在其自身蒸汽压力下作为液化性气体运输。
规格
纯度,% 99 99.9
典型的电阻率 ≥ 200 ohm-cm ≥ 400 ohm-cm
一氯甲硅烷 ≤ 0.2% ≤ 100 pm
三氯硅烷 ≤ 0.5% ≤ 200 pm
四氯化硅 ≤ 0.1% ≤ 100 pm
其他氯硅烷 ≤ 1 wt % ≤ 500 pm
运输
DOT 运输名称 毒物吸入危害
DOT 分类 2.3
DOT 标签 毒气,不可燃
UN NO. UN 2189
CAS No. 4109-96-0
CGA/DISS/JIS 678/636/W22-14L
运输状态 液化性气体
技术信息
钢瓶状况 @ 21.1°C  液体
在空气中的燃烧极限 4.1-98.8%
自然温度 (°C ) 100
分子量 (g/mol) 101.01
比重 ( 空气 =1) 3.47
临界温度 ( °C ) 175.85
临界温度 ( psig ) 678.2
应用
·是在化学气相沉积 ( CVD ) 工程中和氨 ( NH3 ) 一起作为硅前驱物 ( Silicon Precursor ) 的原料。
·用于硅结晶体 ( Silicon Epitaxial ) 的沉积工艺中。