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乙硅烷 - (SI2H6)
描述
乙硅烷是无腐蚀性,无色,气体,在空气中自燃。在室温下,缓慢分解为甲硅烷和氢气。它与氢气,氩气,氦气和氮气兼容,并且常常和这些气体配成混合气,或者纯气也可运输。
规格
纯度,% 99.998
氧气+ 氩气 ≤1 ppmv
氮气 ≤1 ppmv
一氧化二碳 ≤1 ppmv
二氧化碳 ≤1 ppmv
总碳氢(甲烷) ≤1 ppmv
TCS ( 总氯硅烷 ) ≤ 0.2 ppmv
Higher silane  ≤ 50 ppmv
硅烷 ≤ 200 ppmv
水分 ≤ 1 ppmv
运输
DOT 运输名称 可燃性压缩气体
DOT 分类 可燃气体
DOT 标签 可燃气体
UN NO. UN 1954
CAS No. 1590 -87- 0
CGA/DISS/JIS 350/632/W22-14L
运输状态 液化性气体
技术信息
钢瓶状况 @ 21.1°C  液体
在空气中的燃烧极限 2-98%
自然温度 (°C ) -100
分子量 (g/mol) 62.22
比重 ( 空气 =1) 2.1
临界温度 ( °C ) 150.85
临界温度 ( psig ) 747
应用
主要用于微机化半导体制程中之快速且低温沉积均匀薄膜,例如20纳米以下的 IC 半导体,先进随机存取记忆体及快闪记忆体 ( DRAM/NAND Flash ), 另外也以配气方式应用于 HIT 薄膜太阳能电池, TFT-LCD 面板及LED 等方面的应用上。