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电子化学品
产品名称:

三氯氧磷POCl3

  • 产品分类:电子化学品
  • 咨询热线:02151987501
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产品说明:
一、分子式:POCl3
二、分子量:153.35
三、理化性质:
无色透明挥发性液体,具有强烈的刺激性气味。易水解于潮湿的空气中,生成磷酸和盐酸。熔点为1.25℃,沸点为102℃,相对密度为1.675。蒸发热33.7kJ/mol。接近300℃时,仍很稳定。遇到大量水时会发生爆炸。有毒性和腐蚀性。
四、用途:
主要用于芯片的N型掺杂,是制作集成电路、太阳能电池、光纤预制棒、分离器件等的液态磷源,是芯片制程中必须的电子化学品,同时电子级三氯氧磷也是制作高纯磷酸酯的原料。
五、质量指标:
分析项目 技术指标(ppb) 分析项目 技术指标(ppb)
6N 7N 6N 7N
As,max 30 6 Mg,max 20 5
Ba,max 20 1 Mn,max 30 1
Ca,max 30 5 Ni,max 20 1
Co,max 20 1 Pb,max 10 3
Cu,max 20 2 Sr,max 5 1
Cr,max 20 1 Ti,max 5 2
Fe,max 40 5 Zn,max 5 1
Al,max 40 5 K,max 30 3
Ag,max 1 1 Li,max 10 6
Au,max 1 1 Na,max 10 5
Bi,max 10 1 Nb,max 2 1
Ga,max 1 1 Sn,max 5 1
Hg,max 10 5 含量,min 99.90% 99.90%
色度,max 5 5 颗粒物,Size,#/ml ≥0.3um, 50max ≥0.3um, 50max
六、包装
容  器:石英玻璃源瓶或内衬PFA材料钢桶。
外包装:容器外套厚质PVC塑料袋;PE塑料专用箱内置海绵缓冲垫。
规  格:400ml、1000ml、1500ml、20L,也可以根据用户的要求进行包装。  
一、分子式:POCl3
二、分子量:153.35
三、理化性质:
无色透明挥发性液体,具有强烈的刺激性气味。易水解于潮湿的空气中,生成磷酸和盐酸。熔点为1.25℃,沸点为102℃,相对密度为1.675。蒸发热33.7kJ/mol。接近300℃时,仍很稳定。遇到大量水时会发生爆炸。有毒性和腐蚀性。
四、用途:
主要用于芯片的N型掺杂,是制作集成电路、太阳能电池、光纤预制棒、分离器件等的液态磷源,是芯片制程中必须的电子化学品,同时电子级三氯氧磷也是制作高纯磷酸酯的原料。
五、质量指标:
分析项目 技术指标(ppb) 分析项目 技术指标(ppb)
6N 7N 6N 7N
As,max 30 6 Mg,max 20 5
Ba,max 20 1 Mn,max 30 1
Ca,max 30 5 Ni,max 20 1
Co,max 20 1 Pb,max 10 3
Cu,max 20 2 Sr,max 5 1
Cr,max 20 1 Ti,max 5 2
Fe,max 40 5 Zn,max 5 1
Al,max 40 5 K,max 30 3
Ag,max 1 1 Li,max 10 6
Au,max 1 1 Na,max 10 5
Bi,max 10 1 Nb,max 2 1
Ga,max 1 1 Sn,max 5 1
Hg,max 10 5 含量,min 99.90% 99.90%
色度,max 5 5 颗粒物,Size,#/ml ≥0.3um, 50max ≥0.3um, 50max
六、包装
容  器:石英玻璃源瓶或内衬PFA材料钢桶。
外包装:容器外套厚质PVC塑料袋;PE塑料专用箱内置海绵缓冲垫。
规  格:400ml、1000ml、1500ml、20L,也可以根据用户的要求进行包装。  
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