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| 描述 | |||
| 三氟化硼(BF3)是一种无色，具有腐蚀性，不可燃，有毒，有刺激性，窒息性的气体。在潮湿的空气中形成致密的烟雾。三氟化硼刺激粘膜。它可溶于水分解形成氟酸。可水解在潮湿空气中。三氟化硼作为高压压缩气体运输。 | |||
| 规格 | |||
| 纯度 , % | 99.5 | 99.995 | |
| 氧气+氮气+ 氩气 | ≤10 ppmv | ||
| 二氧化碳 | ≤ 10 ppmv | ||
| 惰性气体（氧气+氮气+二氧化碳） | ≤ 4000 ppm | ||
| 二氧化硫 | ≤ 20 ppm | ≤ 10 ppmv | |
| 四氟化硅 | ≤ 300 ppm | ≤3 ppmv | |
| 水分 | ≤ 0.3 % | ||
| 运输 | |||
| DOT 运输名称 | 三氟化硼，压缩的 |
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| DOT 分类 | 2.3 | ||
| DOT 标签 | 毒气/ 吸入危害 | ||
| UN NO. | UN1008 | ||
| CAS NO. | 7637/7/2 | ||
| CGA/DISS/JIS/DIN477 | 330/642/W22-14L/NO.8 | ||
| 运输状态 | 压缩气体 | ||
| 技术信息 | |||
| 钢瓶状况 @ 21.1°C | 气体 | ||
| 在空气中的燃烧极限 | 不可燃 | ||
| 自燃温度 (°C ) | - | ||
| 分子量 ( g/mol ) | 67.805 | ||
| 比重 ( 空气 =1) | 2.32 | ||
| 临界温度 ( °C ) | -12.25 | ||
| 临界压力 ( psig ) | 708.32 | ||
| 应用 | |||
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-在半导体制造中，三氯化硼是用于在硅片上的P型扩散； -离子注入； |
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