描述 | |||
三氟化硼(BF3)是一种无色,具有腐蚀性,不可燃,有毒,有刺激性,窒息性的气体。在潮湿的空气中形成致密的烟雾。三氟化硼刺激粘膜。它可溶于水分解形成氟酸。可水解在潮湿空气中。三氟化硼作为高压压缩气体运输。 | |||
规格 | |||
纯度 , % | 99.5 | 99.995 | |
氧气+氮气+ 氩气 | ≤10 ppmv | ||
二氧化碳 | ≤ 10 ppmv | ||
惰性气体(氧气+氮气+二氧化碳) | ≤ 4000 ppm | ||
二氧化硫 | ≤ 20 ppm | ≤ 10 ppmv | |
四氟化硅 | ≤ 300 ppm | ≤3 ppmv | |
水分 | ≤ 0.3 % | ||
运输 | |||
DOT 运输名称 | 三氟化硼,压缩的 |
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DOT 分类 | 2.3 | ||
DOT 标签 | 毒气/ 吸入危害 | ||
UN NO. | UN1008 | ||
CAS NO. | 7637/7/2 | ||
CGA/DISS/JIS/DIN477 | 330/642/W22-14L/NO.8 | ||
运输状态 | 压缩气体 | ||
技术信息 | |||
钢瓶状况 @ 21.1°C | 气体 | ||
在空气中的燃烧极限 | 不可燃 | ||
自燃温度 (°C ) | - | ||
分子量 ( g/mol ) | 67.805 | ||
比重 ( 空气 =1) | 2.32 | ||
临界温度 ( °C ) | -12.25 | ||
临界压力 ( psig ) | 708.32 | ||
应用 | |||
-在半导体制造中,三氯化硼是用于在硅片上的P型扩散; -离子注入; |
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