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特殊气体
砷烷

描述
砷化氢(AsH3)是一种剧毒,易燃,无色,有类似大蒜气味的气体。气味是主观的,因此不可靠的,而不应被用于检测气体的存在。在其蒸汽压力下作为液化性气体运输。
规格
纯度,% 99.999 99.9999
氧气 ≤1.0 ppmv ≤ 40 ppbv
氮气 ≤2.0 ppmv ≤ 250 ppbv
二氧化碳 ≤ 0.5ppmv ≤ 40 ppbv
一氧化碳 ≤ 0.1ppmv ≤ 10ppbv
水分 ≤ 0.5 ppmv ≤ 350 ppbv
C1-C2 ≤ 2.0 ppmv ≤ 500 ppbv
锗烷 ≤ 50 ppbv
硫化氢 ≤ 50 ppbv
运输
DOT 运输名称 砷烷 
DOT 分类 2.3 (2.1) 毒气
DOT 标签 毒气/呼吸危害, 可燃气体
UN NO. UN 2188
CAS NO. 7784-42-1
CGA/DISS/JIS 350/632/W22-14L
运输状态 液化气体
技术信息
钢瓶状况 @ 21.1°C  液体
在空气中的燃烧极限 5.1-78%
自燃温度 (°C ) -
分子量 ( g/mol ) 77.95
比重 ( 空气 =1 ) 2.695
临界温度 ( °C ) 99.85
临界压力 ( psig ) 985.3
应用
-在半导体制造中,胂是外延硅的一种n型掺杂剂(通常与氢混合);
-对于硅片的掺杂选定区域,通过沉积/扩散技术,形成浅结构,例如发射器或源漏接触 (通常是ppm 级到百分比级,氮气是平衡气);
-采用离子注入,在选定区域掺杂 (通常与氢混合);
-
 参与许多化学反应;


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