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气体产品
八氟环丁烷

描述
八氟环丁烷(C4F8/Halocarbon C318)是一种不易燃,无色,无臭无味的气体。在其自身蒸汽压力下被作为液化性气体运输。
规格
纯度 , % 99.9 99.999
氧气 ≤ 80 ppmv ≤ 1.0 ppmv
氮气 ≤ 300 ppmv ≤ 3.0 ppmv
二氧化碳 ≤ 50ppmv ≤ 0.5ppmv
一氧化碳 ≤ 30 ppmv ≤ 0.5 ppmv
甲烷 ≤ 30 ppmv ≤ 0.5 ppmv
水分 ≤10 ppmv ≤ 3.0 ppmv
其他有机物 ≤ 600 ppmv ≤ 5.0 ppmv
酸度 as HCL  ≤ 1.0 ppmw ≤ 0.1 ppmw
运输
DOT 运输名称 八氟环丁烷
DOT 分类 2.2
DOT 标签 不可燃气体
UN NO. UN 1976
CAS NO. 115-25-3
CGA/DISS/JIS 660/716/W22-14L
运输状态 液化性气体
技术信息
钢瓶状况 @ 21.1°C  液体
在空气中的燃烧极限 不可燃
自燃温度 ( °C ) -
分子量 ( g/mol ) 200.03
比重 ( 空气 =1 ) 7.33
临界温度 ( °C ) 115.2
临界压力 ( psig ) -
应用
-在半导体制程中, 八氟环丁烷被用作二氧化硅和硅层的等离子蚀刻气体;


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