咨询热线:

15901947671
-->
特殊气体
三氯化硼
描述
三氯化硼(BCl3)是一种无色,有腐蚀性,不可燃的毒气,带有刺激性,刺鼻的气味,在潮湿的空气中形成致密的烟雾。三氯化硼能刺激粘膜。在潮湿的空气中水解,形成氯化氢。在其蒸汽压力下作为液化性气体运输。
规格
纯度 , % 99.9 99.999
自由氯气 ≤100 ppmw
光气 ≤100 ppmw
氧气 ≤1.0 ppmv
氮气 ≤1.0 ppmv
二氧化碳 ≤1.0 ppmv
一氧化碳 ≤1.0 ppmv
水分
运输
DOT 运输名称 三氯化硼 
DOT 分类 2.3
DOT 标签 毒气/呼吸危害,腐蚀
UN NO. UN1741
CAS NO. 10294-34-5
CGA/DISS/JIS 660/634/W22-14L
运输状态 液化性气体
技术信息
钢瓶状况 @ 21.1°C  液体
在空气中的燃烧极限 不可燃
自燃温度 (°C ) -
分子量 ( g/mol ) 117.17
比重 ( 空气 =1) 4.04
临界温度 ( °C ) 178.8
临界压力 ( psig ) 546.6
应用
-在半导体制造中,三氯化硼是用于在硅片上的P型扩散;
-离子注入;
-金属等离子体蚀刻;
-在各种化学反应;
分享到:
网站首页 公司简介 产品展示 气体知识 企业资质 行业资讯 客户留言 联系我们