-->
金属有机源
金属有机源清单
金属有机源
应用领域 产品名称 别名
化合物半导体(Compound semiconductor) 二甲基锌 DMZ
二甲基镉 DMCd
二甲基锎 DMHy
二乙基锌 DEZ
三甲基镓 TMG
三甲基铝 TMA
三甲基硼 TMB
三甲基锑 TMSb
三甲基铟 TMI
三乙基镓 TEG
三乙基铝 TEA
三乙基硼 TEB
二异丙基碲 Te(i-C3H7)2 
二茂铁 FeCp2
二茂镁 MgCp2


介电层(Dielectrics PMD/IMD) 正硅酸乙酯 TEOS
硼酸三乙酯 TEB
磷酸三乙酯 TEPO
磷酸三甲酯 TMPO
亚磷酸三甲酯 TMPI
硼酸三甲酯 TMB

低介电材料(Low-k  Dielectrics)
二甲基二甲氧基硅烷 DMDMOS
三甲基铝 TMA
三甲基硅烷 3MS
四甲基硅烷 4MS

高介电材料(High-k Dielectrics) 二(吡咯-2-烷基氨基)钡  Ba(DPM)2
二(吡咯-2-烷基氨基)锶  Sr(DPM)2
二(吡咯-2-烷基氨基)铅 Pb(DPM)2
二(吡咯-2-烷基氨基)锆 Zr(DPM)4
五(二甲胺)钽 Ta(OC2H5)5
四(二乙基氨基)锆 Zr[N(C2H5)2]4
四(二乙基氨基)铪 Hf[N(C2H5)2]4

强介电质层(Strong dielectric) 四正丁氧基锆  Zr(t-OC4H9)4  
四异丙醇钛  Ti(i-OC3H7)4
二(吡咯-2-烷基氨基)铅 Pb(DPM)2
二(吡咯-2-烷基氨基)锆 Zr(DPM)4

电极、导线(Metal Gate and Interconnect Metal) 三甲基铝 TMA
四(二甲胺)钛  TDMAT
四(甲乙胺)钛  TEMAT
四氯化钛 TiCl4

分享到:
网站首页 公司简介 产品与研发 产品知识 行业资讯 联系我们