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Boron Trichloride - 三氯化硼 - ( BCL3 )
三氯化硼是一种无色,有腐蚀性,不可燃的毒气,带有刺激性,刺鼻的气味,在潮湿的空气中形成致密的烟雾。三氯化硼能刺激粘膜。在潮湿的空气中水解,形成氯化氢。在其蒸汽压力下作为液化性气体运输。
规格 | ||
纯度 , % | 99.9 | 99.999 |
自由氯气 | ≤100 ppmw | |
光气 | ≤100 ppmw | |
氧气 | ≤1.0 ppmv | |
氮气 | ≤1.0 ppmv | |
二氧化碳 | ≤1.0 ppmv | |
一氧化碳 | ≤1.0 ppmv | |
水分 | ||
运输 | ||
DOT 运输名称 | 三氯化硼 | |
DOT 分类 | 2.3 | |
DOT 标签 | 毒气/呼吸危害,腐蚀 | |
UN NO. | UN1741 | |
CAS No. | 10294-34-5 | |
CGA/DISS/JIS | 660/634/W22-14L | |
运输状态 | 液化性气体 | |
技术信息 | ||
钢瓶状况 @ 21.1°C | 液体 | |
在空气中的燃烧极限 | 不可燃 | |
自然温度 (°C ) | - | |
分子量 (g/mol) | 117.17 | |
比重 ( 空气 =1) | 4.04 | |
临界温度 ( °C ) | 178.8 | |
临界温度 ( psig ) | 546.6 | |
应用 | ||
1. 在半导体制造中,三氯化硼是用于在硅片上的P型扩散。 2. 离子注入。 3. 金属等离子体蚀刻。 4. 在各种化学反应。 | ||