业务领域
聚焦于高纯气体,稳定同位素,金属化合物和高纯化学品等化工新材料的供应和销售
Disilane - 乙硅烷 - ( Si2H6 )
乙硅烷是无腐蚀性,无色,气体,在空气中自燃。在室温下,缓慢分解为甲硅烷和氢气。它与氢气,氩气,氦气和氮气兼容,并且常常和这些气体配成混合气,或者纯气也可运输。
规格 | |
纯度,% | 99.998 |
氧气+ 氩气 | ≤1 ppmv |
氮气 | ≤1 ppmv |
一氧化二碳 | ≤1 ppmv |
二氧化碳 | ≤1 ppmv |
总碳氢(甲烷) | ≤1 ppmv |
TCS ( 总氯硅烷 ) | ≤ 0.2 ppmv |
Higher silane | ≤ 50 ppmv |
硅烷 | ≤ 200 ppmv |
水分 | ≤ 1 ppmv |
运输 | |
DOT 运输名称 | 可燃性压缩气体 |
DOT 分类 | 2.1 |
DOT 标签 | 可燃气体 |
UN NO. | UN 3161 |
CAS No. | 1590-87-0 |
CGA/DISS/JIS | 350/632/W22-14L |
运输状态 | 液化性气体 |
技术信息 | |
钢瓶状况 @ 21.1°C | 液体 |
在空气中的燃烧极限 | 2-98% |
自然温度 (°C ) | -100 |
分子量 (g/mol) | 62.22 |
比重 ( 空气 =1) | 2.1 |
临界温度 ( °C ) | 150.85 |
临界温度 ( psig ) | 747 |
应用 | |
主要用于微机化半导体制程中之快速且低温沉积均匀薄膜,例如20纳米以下的 IC 半导体,先进随机存取记忆体及快闪记忆体 ( DRAM/NAND Flash ), 另外也以配气方式应用于 HIT 薄膜太阳能电池, TFT-LCD 面板及LED 等方面的应用上。 | |