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Halocarbon 14 - Tetrafluoromethane - 四氟化碳 - ( CF4 )
CF4_WECHEM_SH_MSDS.pdf 资料下载四氟化碳是一种无色，相对无毒，不燃，具有轻微醚样气味的气体。作为一种压缩气体运输。
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规格 |
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| 纯度 , % | 99.9 | 99.999 |
| 氧气 | ≤100 ppmv | ≤1.0 ppmv |
| 氮气 | ≤400 ppmv | ≤4.0 ppmv |
| 二氧化碳 | ≤80 ppmv | ≤0.5 ppmv |
| 一氧化碳 | ≤50 ppmv | ≤0.5 ppmv |
| 甲烷 | ≤50 ppmv | ≤0.5 ppmv |
| 气体碳氢 | ≤100 ppmv | ≤2.0 ppmv |
| 水分 | ≤10 ppmv | ≤2.0 ppmv |
| 六氟化硫 | ≤15 ppmv | ≤1.0 ppmv |
| 酸度 as HF | ≤1.0ppmv | ≤0.1ppmv |
| 运输 | ||
| DOT 运输名称 | 四氟化碳，压缩的 | |
| DOT 分类 | 2.2 | |
| DOT 标签 | 不可燃气体 | |
| UN NO. | UN1982 | |
| CAS No. | 75-73-0 | |
| CGA/DISS/JIS | 320/716/W22-14L | |
| 运输状态 | 压缩性气体 | |
| 技术信息 | ||
| 钢瓶状况 @ 21.1°C | 气体 | |
| 在空气中的燃烧极限 | 不可燃 | |
| 自然温度 (°C ) | 不可燃 | |
| 分子量 (g/mol) | 88.01 | |
| 比重 ( 空气 =1) | 3.04 | |
| 临界温度 ( °C ) | -45.65 | |
| 临界温度 ( psig ) | 528.459 | |
| 应用 | ||
| 四氟化碳是目前微电子工业用量最大的等离子蚀刻气体，在电子器件表面清洗，太阳能电池的生产，激光技术，气相绝缘低温制冷，泄露检验剂，印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。 | ||