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Halocarbon 32 - Difluoromethane - 二氟甲烷 - ( CH2F2 )
二氟甲烷_WECHEM_SH_MSDS.pdf 资料下载二氟甲烷是一种无色，易燃，具有轻微醚样气味的气体。在其自身蒸汽压力下被作为液化性气体运输。
| 规格 | |
| 纯度，% | 99.99 |
| 氧气 | ≤10 ppmv |
| 氮气 | ≤40 ppmv |
| 二氧化碳 | ≤5 ppmv |
| 水分 | ≤15 ppmv |
| 酸度 as HCL | ≤0.2 ppmw |
| 运输 | |
| DOT 运输名称 | 二氟甲烷 |
| DOT 分类 | 2.1 |
| DOT 标签 | 不可燃气体 |
| UN NO. | UN 3252 |
| CAS No. | 75-10-5 |
| CGA/DISS/JIS | 350/724/W22-14L |
| 运输状态 | 液化性气体 |
| 技术信息 | |
| 钢瓶状况 @ 21.1°C | 液体 |
| 在空气中的燃烧极限 | |
| 自然温度 (°C ) | -18 |
| 分子量 (g/mol) | 52 |
| 比重 ( 空气 =1) | 1.803 |
| 临界温度 ( °C ) | 78.4 |
| 临界温度 ( psig ) | |
| 应用 | |
| 二氟甲烷被用作硅层的等离子体蚀刻气体。 | |