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Halocarbon 116 - Hexafluoroethane - 六氟乙烷 - ( C2F6 )
六氟乙烷_WECHEM_SH_MSDS.pdf 资料下载六氟乙烷是一种无色，无毒，不燃性气体。其临界温度是在正常室温。这是一个优良的介电。然而，可能在热或电击穿而形成有毒的分解产物。在其蒸汽压力下作为液化性气体运输。
| 规格 | ||
| 纯度 , % | 99.9 | 99.999 |
| 氧气 | ≤80 ppmv | ≤1.0 ppmv |
| 氮气 | ≤300 ppmv | ≤4.0 ppmv |
| 二氧化碳 | ≤50ppmv | ≤0.5ppmv |
| 一氧化碳 | ≤30 ppmv | ≤0.5 ppmv |
| 甲烷 | ≤30 ppmv | ≤0.5 ppmv |
| 水分 | ≤10 ppmv | ≤1.5 ppmv |
| 四氟化碳 | ≤100 ppmv | ≤1.0 ppmv |
| 其他有机物 | ≤400 ppmv | ≤2.0 ppmv |
| 酸度 as HCL | ≤1.0 ppmw | ≤0.1 ppmw |
| 运输 | ||
| DOT 运输名称 | 六氟乙烷，压缩的 | |
| DOT 分类 | 2.2 | |
| DOT 标签 | 不可燃气体 | |
| UN NO. | UN2193 | |
| CAS No. | 76-16-4 | |
| CGA/DISS/JIS | 660/716/W22-14L | |
| 运输状态 | 液化性气体 | |
| 技术信息 | ||
| 钢瓶状况 @ 21.1°C | 液体 | |
| 在空气中的燃烧极限 | 不可燃 | |
| 自然温度 (°C ) | - | |
| 分子量 (g/mol) | 138.01 | |
| 比重 ( 空气 =1) | 4.82 | |
| 临界温度 ( °C ) | 19.65 | |
| 临界温度 ( psig ) | 417.5 | |
| 应用 | ||
| 可用作绝缘气、等离子蚀刻剂，高介电强度冷却剂等。 | ||