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Nitrogen Trifluoride - 三氟化氮 - ( NF3 )
三氟化氮_WECHEM_SH_MSDS.pdf 资料下载三氟化氮是一种无色的，稳定的，氧化性有毒且带有发霉气味的气体。作为压缩性气体运输。
| 规格 | |
| 纯度，% | 99.99 |
| 氧气 | ≤3.0 ppmv |
| 氮气 | ≤5.0 ppmv |
| 二氧化碳 | ≤1.0 ppmv |
| 一氧化碳 | ≤1.0 ppmv |
| 甲烷 | ≤1.0 ppmv |
| 水分 | ≤1.0 ppmv |
| 四氟化碳 | ≤1.0 ppmv |
| 氧化亚氮 | ≤2.0 ppmv |
| 六氟化硫 | ≤1.0 ppmv |
| 氢氟酸 | ≤1.0 ppmv |
| 运输 | |
| DOT 运输名称 | 三氟化氮 |
| DOT 分类 | 2.3 |
| DOT 标签 | 不可燃气体，氧化性 |
| UN NO. | UN 2451 |
| CAS No. | 7783-54-2 |
| DISS/JIS/DIN477 | 640/W22-14L/NO.6 |
| 运输状态 | 压缩性气体 |
| 技术信息 | |
| 钢瓶状况 @ 21.1°C | 气体 |
| 在空气中的燃烧极限 | 不可燃 |
| 自然温度 (°C ) | - |
| 分子量 (g/mol) | 71 |
| 比重 ( 空气 =1) | 2.46 |
| 临界温度 ( °C ) | -39.15 |
| 临界温度 ( psig ) | 632.19 |
| 应用 | |
| 用于半导体、TFT-LCD 以及光伏电池制造过程中的化学气相沉积（CVD ) 工程，是用于去除制程室（ Chamber ） 内壁上的残留物质的特种气体。 | |