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Phosphine - 磷烷 - ( PH3 )
磷烷_WECHEM_SH_MSDS.pdf 资料下载磷化氢是一种剧毒，易燃，无色有类似腐烂的鱼类的恶臭气体。气味是主观的，因此不可靠的，不应被作为是检测否存在气体的标准。可自燃，作为液化性气体运输。
| 规格 | |||
| 纯度，% | 99.6 | 99.9997 | 99.9999 |
| 氧气 | ≤ 1 ppmw | ≤0.1 ppmv | ≤0.1 ppmv |
| 氢气 | ≤ 0.4% | ||
| 氮气 | ≤1.0 ppmv | ≤0.1 ppmv | |
| 二氧化碳 | ≤0.1 ppmv | ≤0.1 ppmv | |
| 一氧化碳 | ≤0.1 ppmv | ≤0.05 ppmv | |
| 甲烷 | ≤0.1 ppmv | ≤0.1 ppmv | |
| 水分 | ≤1.0 ppmv | ≤0.1 ppmv | |
| 氩气 | ≤0.1 ppmv | ||
| 砷烷 | ≤0.05 ppmv | ||
| 锗烷 | ≤0.05 ppmv | ||
| 硫化氢 | ≤0.05 ppmv | ||
| 硅烷 | ≤0.05 ppmv | ||
| 运输 | |||
| DOT 运输名称 | 磷烷 | ||
| DOT 分类 | 2.3 | ||
| DOT 标签 | 有毒， 可燃气体 | ||
| UN NO. | UN 2199 | ||
| CAS No. | 7803-51-2 | ||
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CGA/DISS/JIS/BS341 /DIN477 |
350/632/W22-14L/NO.4/NO.1 | ||
| 运输状态 | 液化性气体 | ||
| 技术信息 | |||
| 钢瓶状况 @ 21.1°C | 液体 | ||
| 在空气中的燃烧极限 | 1.6-98% | ||
| 自然温度 (°C ) | 40 | ||
| 分子量 (g/mol) | 33.998 | ||
| 比重 ( 空气 =1) | 1.17 | ||
| 临界温度 ( °C ) | 51.6 | ||
| 临界温度 ( psig ) | 933.2 | ||
| 应用 | |||
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1. 在半导体制造中，作为n型掺杂剂 2. 在半导体制造中，外延硅的制程 3. 在半导体制造中，晶源上选择区域的掺杂。 4. 在半导体制造，用于掺杂多晶硅的互连或某些电容 5. 在半导体制造中，用于形成硼磷硅玻璃 6. 在半导体制造中，离子注入。 | |||