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Silicon Tetrafluoride - 四氟化硅 - ( SiF4 )
四氟化硅_WECHEM_SH_MSDS.pdf 资料下载四氟化硅是一种无色，有毒，不可燃气体。会刺激粘膜。四氟化硅在潮湿的空气中形成致密烟雾，并迅速水解形成氟硅酸和氟化氢。
| 规格 | |
| 纯度 , % | 99.99 |
| 氧气 | ≤1.0 ppmv |
| 氮气 | ≤3.0 ppmv |
| 二氧化碳 | ≤1.0 ppmv |
| 一氧化碳 | ≤0.5 ppmv |
| 总碳氢 ( CH4) | ≤10.0 ppmv |
| 砷 | ≤0.5 ppmv |
| 硼 | ≤0.5 ppmv |
| 磷 | ≤0.5 ppmv |
| 氟化氢 | ≤50.0ppmv |
| 运输 | |
| DOT 运输名称 | 四氟化硅 |
| DOT 分类 | 2.3 |
| DOT 标签 | 有毒，腐蚀 |
| UN NO. | UN 1859 |
| CAS No. | 7783-61-1 |
| CGA/DISS/JIS | 330/642/W22-14L |
| 运输状态 | 压缩性气体 |
| 技术信息 | |
| 钢瓶状况 @ 21.1°C | 气体 |
| 在空气中的燃烧极限 | 不可燃 |
| 自然温度 (°C ) | - |
| 分子量 (g/mol) | 104.08 |
| 比重 ( 空气 =1) | 4.67 |
| 临界温度 ( °C ) | -14.15 |
| 临界温度 ( psig ) | 524.59 |
| 应用 | |
| 用于化学气相淀积工序;制备氟硅酸及其盐类。 | |