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Trichlorosilane - 三氯氢硅 - SiHCl3, TCS
三氯硅烷_WECHEM_SH_MSDS.pdf 资料下载三氯氢硅是一种具有腐蚀性，无色，易燃液体，有窒息性气味。蒸气会刺激粘膜,当暴露于潮湿的空气中会形成密集的烟雾在潮湿的空气中迅速水解，形成氯化氢。用特殊的不锈钢钢瓶充装，这种钢瓶可以提供气态也可以提供液态的三氯氢硅。
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| 规格 | |
| 纯度，% | 99.95 |
| 电阻率 | ≥ 300 ohm-cm |
| 硼 | ≤ 0.1 ppba silicon |
| 碳 | ≤ 5 ppma |
| 铁 | ≤ 5 ppba |
| 其他氯硅烷 | ≤ 500 ppm |
| 运输 | |
| DOT 运输名称 | 三氯氢硅 |
| DOT 分类 | 4.3 |
| DOT 标签 | 可燃液体，腐蚀 |
| UN NO. | UN 1295 |
| CAS No. | 10025-78-2 |
| 技术信息 | |
| 钢瓶状况 @ 21.1°C | 液体 |
| 在空气中的燃烧极限 | 7-83% |
| 自然温度 (°C ) | 182 |
| 分子量 (g/mol) | 135.45 |
| 比重 ( 空气 =1) | 4.67 |
| 临界温度 ( °C ) | 242.5 |
| 临界温度 ( psig ) | |
| 应用 | |
| 1. 在有机硅化学反应 2. 在半导体制造：硅的外延沉积。 | |
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