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Tungsten Hexafluoride-六氟化钨 -WF6
六氟化钨_WECHEM_SH_MSDS.pdf 资料下载六氟化钨是一种浅黄色的，有毒，不易燃，无臭，极强腐蚀性气体。与水激烈反应形成氢氟酸。充装在镍气瓶里面的液化性气体。
| 规格 | |
| 纯度 , % | 99.9995% |
| 氧气 | ≤ 0.5 ppmv |
| 氮气 | ≤ 0.5 ppmv |
| 二氧化碳 | ≤ 0.5 ppmv |
| 一氧化碳 | ≤ 0.5 ppmv |
| 四氟化碳 | ≤ 0.5 ppmv |
| 四氟化硅 | ≤ 0.5 ppmv |
| 六氟化硫 | ≤ 0.5 ppmv |
| 酸度（ HF ) | ≤ 0.5 ppmv |
| 运输 | |
| DOT 运输名称 | 六氟化钨 |
| DOT 分类 | 2.3 |
| DOT 标签 | 毒气，腐蚀 |
| UN NO. | UN 2196 |
| CAS No. | 7783 - 82 -6 |
| CGA/DISS/JIS | 670/638/W22-14R |
| 运输状态 | 液化性气体 |
| 技术信息 | |
| 钢瓶状况 @ 21.1°C | 液体 |
| 在空气中的燃烧极限 | 不可燃 |
| 自然温度 (°C ) | - |
| 分子量 (g/mol) | 297.84 |
| 比重 ( 空气 =1) | 10.674 |
| 临界温度 ( °C ) | 169.67 |
| 临界温度 ( psig ) | 604.6 |
| 应用 | |
| 用于半导体工程，在化学气相沉积（ CVD ) 工程中作为金属触点（ Metal Contact ) 形成的用途，主要用于半导体制作工程中，作为形成接点插座（ Contract Plug ) 的金属材料。 | |