业务领域

聚焦于高纯气体，稳定同位素，金属化合物和高纯化学品等化工新材料的供应和销售

高纯气体

稳定同位素

稀有气体（标准气体）

高纯化学品（氘代产品）

Electronic Grade Ethyl Silicate-正硅酸四乙酯/TEOS-C8H20O4Si

名称	正硅酸四乙酯(TEOS)
化学式	C8H20O4Si
相对分子量	208.33
CAS号	28767
理化性质	无色透明液体，熔点－77℃，沸点168.5℃，密度0.9346g/ml。在空气中较稳定；微溶于水，在纯水中水解缓慢；在酸或碱的存在下能加速水解作用。
主要用途	主要用于晶圆制造过程中的化学气相沉积（CVD）制程，用于生成二氧化硅和氮化硅薄膜。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的电子化学品。
典型应用
CVD类型	材料
APCVD	TEOS,O3
LPCVD	TEOS
PECVD	TEOS,O2
产品标准
项目Item	标准值Standard Value	项目Item	标准值Standard Value
纯度	99.999999% (8N)	铌（Nb）max	0.1ppb
铝（Al）max	0.2ppb	镍（Ni）max	0.2ppb
银（Ag）max	0.1ppb	铅（Pb）max	0.1ppb
砷（As）max	0.4ppb	锑（Sb）max	0.1ppb
金（Au）max	0.1ppb	锡（Sn）max	0.2ppb
硼（B）max	0.5ppb	锶（Sr）max	0.1ppb
钡（Ba）max	0.1ppb	钍（Th）max	0.1ppb
铍（Be）max	0.1ppb	钛（Ti）max	0.1ppb
铋（Bi）max	0.1ppb	铀（U ）max	0.1ppb
钙（Ca）max	0.5ppb	钒（V ）max	0.1ppb
镉（Cd）max	0.1ppb	钨（W ）max	0.1ppb
钴（Co）max	0.4ppb	锌（Zn）max	0.2ppb
铜（Cu）max	0.2ppb	锆（Zr）max	0.1ppb
铬（Cr）max	0.2ppb	Cl- max	0.5 ppm
铁（Fe）max	0.2ppb	水份 max	5 ppm
镓（Ga）max	0.4ppb	乙醇含量 max	3 ppm
汞（Hg）max	0.3ppb	颗粒数≥0.2µm max	30 p/ml
钾（ K）max	0.2ppb	颗粒数≥0.3µm max	20 p/ml
锂（Li）max	0.1ppb	颗粒数≥0.5µm max	10 p/ml
镁（Mg）max	0.5ppb	颗粒数≥1.0µm max	3 p/ml
锰（Mn）max	0.1ppb	色度	＜10APHA
钼（Mo）max	0.1ppb	外观	无色透明液体
钠（Na）max	0.5ppb	保质期	24个月
包装方法	316L不锈钢瓶，外装不锈钢柜。

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