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名称 |
三氯甲硅烷 |
2 |
化学式 |
SiHCl₃ |
3 |
CAS注册号 |
10025-78-2 |
4 |
相对分子质量 |
135.452 |
5 |
熔 点 |
144.95 K,-128.2℃,-198.76"F |
6 |
沸点,101.325 kPa(1 atm)时 |
305 K,31.85 C,89.33*F |
7 |
临界温度 |
479K,205.85T,402.53 *F |
8 |
临界压力 |
4.17 MPa,41.7 bar,41.15 atm,604.81 psia |
9 |
临界体积 |
268 cm³/mol |
10 |
临界密度 |
0.5054g/cm³ |
11 |
临界压缩系数 |
0.281 |
12 |
偏心因子 |
0.203 |
13 |
液体密度,25 ℃时 |
1.328 g/cm³ |
14 |
液体热膨胀系数,25 ℃时 |
0.001861/C |
15 |
表面张力,25 ℃时 |
17.4×10-3N/m,17.4 dyn/cm |
16 |
气体密度,101.325 kPa(1 atm)和70 F(21.1℃)时 |
5.610kg/m³,0.3502 lb/ft³ |
17 |
气体相对密度,101.325 kPa(1 atm)和70F时(空气=1) |
4.677 |
18 |
汽化热,沸点下 |
187 kJ/kg,80.41 BTU/b |
19 |
熔化热,熔点下 |
|
20 |
气体定压比热容cp,25 ℃时 |
0.552 kJ/(kg*K),0.132 BTU/(Ib ·R) |
21 |
气体定容比热容cy,25 ℃时 |
0.49 kJ/(kg*K),0.117 BTU/(Ib ·R) |
22 |
气体比热容比,Cp/c、 |
1.125 |
23 |
液体比热容,25 ℃时 |
0.858 kJ/(kg ·K),0.205 ETU/(1b ·R) |
24 |
固体比热容, -150 ℃时 |
0.6 kJ/(kg ·K),0.143 BTU/(Ib ·R) |
25 |
气体摩尔熵,25 ℃时 |
313.59 J/(mol ·K) |
26 |
气体摩尔生成熵,25 ℃时 |
-103.59 J/(mol ·K) |
27 |
气体摩尔生成焓,25 ℃时 |
-513 kJ/mol |
28 |
气体靡尔吉布斯生成能,25 ℃时 |
-482 kJ/mol |
29 |
溶解度参数 |
15.081(J/cm³)0.5 |
30 |
液体摩尔体积 |
102.004 cm³/mol |
31 |
在水中的溶解度 |
反应 |
32 |
辛醇-水分配系数,lgKow |
—— |
33 |
在水中的亨利定律常数 |
-— |
34 |
互体黏度,32 ℃时 |
117.43×10-7Pa ·s,117.43 μP |
35 |
液体黏度,25 ℃时 |
0.319 mPa*s,0.319 cP |
36 |
气体热导率,25 ℃时 |
0.00771 W/(m ·K) |
37 |
液体热导率,25 ℃时 |
0.1285 W/(m ·K) |
38 |
空气中爆炸低限含量 |
1.2 %(φ) |
39 |
空气中爆炸高限含量 |
90.5 %(p) |
40 |
闪 点 |
-27.8℃,-18 F |
41 |
自燃点 |
104.4℃,220 F |
42 |
燃烧热,25 ℃(77'F) |
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43 |
美国政府工业卫生工作者会议(ACGIH)阈值浓度 |
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44 |
美国职业安全与卫生管理局(OSHA)允许浓度值 |
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45 |
美国国立职业安全与卫生研究所(NIOSH)推荐浓度值 |
简述
三氯甲硅烷在环境条件下是无色液体。沸 点为31.85℃。具有令人不快的气味。
规格和装置
可以提供包括产品规格、气体处理装置和 适用的气体检漏设备等方面的信息。
用途
三氯甲硅烷主要在电子和半导体工业中应 用。可用三氯甲硅烷生产半导体硅。
制作材料
制作材料与二氯氢硅的相同。
钢瓶和配套阀门
三氯甲硅烷采用钢瓶充装。阀门出口采用 压缩气体协会(CGA)的636接头。
运输规则
三氯甲硅烷应按运输部(DOT)对“当 潮湿时是危险品”的规定进行装运。
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