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三氯甲硅烷-SiHCl₃-化工百科
发布日期:2023-02-06 来源:三氯甲硅烷-SiHCl₃-化工百科

1

名称

三氯甲硅烷

2

化学式

SiHCl

3

CAS注册号

10025-78-2

4

相对分子质量

135.452

5

 

144.95    K,-128.2℃,-198.76"F

6

沸点,101.325 kPa(1 atm)时

305  K,31.85  C,89.33*F

7

临界温度

479K,205.85T,402.53   *F

8

临界压力

4.17 MPa,41.7 bar,41.15 atm,604.81 psia

9

临界体积

268  cm³/mol

10

临界密度

0.5054g/cm³

11

临界压缩系数

0.281

12

偏心因子

0.203

13

液体密度,25 ℃时

1.328  g/cm³

14

液体热膨胀系数,25 ℃时

0.001861/C

15

表面张力,25 ℃时

17.4×10-3N/m,17.4  dyn/cm

16

气体密度,101.325 kPa(1 atm)和70 F(21.1℃)时

5.610kg/m³,0.3502   lb/ft³

17

气体相对密度,101.325 kPa(1 atm)和70F时(空气=1)

4.677

18

汽化热,沸点下

187 kJ/kg,80.41 BTU/b

19

熔化热,熔点下


20

气体定压比热容cp,25 ℃时

0.552 kJ/(kg*K),0.132 BTU/(Ib ·R)

21

气体定容比热容cy,25 ℃时

0.49 kJ/(kg*K),0.117 BTU/(Ib ·R)

22

气体比热容比,Cp/c、

1.125

23

液体比热容,25 ℃时

0.858 kJ/(kg ·K),0.205 ETU/(1b ·R)

24

固体比热容, -150 ℃时

0.6 kJ/(kg ·K),0.143 BTU/(Ib ·R)

25

气体摩尔熵,25 ℃时

313.59 J/(mol ·K)

26

气体摩尔生成熵,25 ℃时

-103.59 J/(mol ·K)

27

气体摩尔生成焓,25 ℃时

-513 kJ/mol

28

气体靡尔吉布斯生成能,25 ℃时

-482  kJ/mol

29

溶解度参数

15.081(J/cm³)0.5

30

液体摩尔体积

102.004  cm³/mol

31

在水中的溶解度

反应

32

辛醇-水分配系数,lgKow

——

33

在水中的亨利定律常数

-—

34

互体黏度,32 ℃时

117.43×10-7Pa ·s,117.43 μP

35

液体黏度,25 ℃时

0.319 mPa*s,0.319 cP

36

气体热导率,25 ℃时

0.00771  W/(m ·K)

37

液体热导率,25 ℃时

0.1285  W/(m ·K)

38

空气中爆炸低限含量

1.2  %(φ)

39

空气中爆炸高限含量

90.5  %(p)

40

 

-27.8℃,-18  F

41

自燃点

104.4℃,220   F

42

燃烧热,25 ℃(77'F)


43

美国政府工业卫生工作者会议(ACGIH)阈值浓度


44

美国职业安全与卫生管理局(OSHA)允许浓度值


45

美国国立职业安全与卫生研究所(NIOSH)推荐浓度值


简述

三氯甲硅烷在环境条件下是无色液体。沸 点为31.85℃。具有令人不快的气味。

规格和装置

可以提供包括产品规格、气体处理装置和 适用的气体检漏设备等方面的信息。

用途

三氯甲硅烷主要在电子和半导体工业中应 用。可用三氯甲硅烷生产半导体硅。

制作材料

制作材料与二氯氢硅的相同。

钢瓶和配套阀门

三氯甲硅烷采用钢瓶充装。阀门出口采用 压缩气体协会(CGA)的636接头。

运输规则

三氯甲硅烷应按运输部(DOT)对“当 潮湿时是危险品”的规定进行装运。

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