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继三星电子(三星)之后,世界第二大存储芯片制造商SkHynix与韩国特种天然气制造商TIM联合开发了该行业的首个氖气气体回收技术。

在半导体制造业中使用该技术时,可以降低购买氖气的成本,每年为400亿克朗(约合3000万美元)。

由于神经元能够产生稳定的放电,因此它是芯片生产光刻中的准分子或紫外线激光器所必不可少的。

在这些激光器中,氖气起着缓冲气体的作用,确保了激光发射波长的稳定性,这是光刻过程中用于芯片制造所需的蚀刻精确图案的关键。

对于像kksHynix、三星、英特尔和tsmc这样的制造商来说,氖气通常来自乌克兰、俄罗斯和中国等国。

全世界约45%至54%的半导体级氖气来自乌克兰。近年来,由于俄罗斯和乌克兰之间持续不断的冲突继续扰乱国际供应链,氖气价格一直在飙升。

天然气的进口价格从2021年的每升58美元上升到2022年的1612美元。

2022年,skkHynix公司宣布,在芯片生产中,它已经将本地供应的氖气的使用率提高到了40%,这标志着韩国芯片制造商首次采购本地的氖气气体。

当时,该公司表示,它打算到2024年100%使用当地生产的氖气气体。

SKHynix并不是唯一一家寻找氖气替代采购渠道的芯片制造商。今年早些时候,三星宣布从2025年起将在芯片制造中使用回收的氖气气体。

据英国国际发展集团表示,芯片巨头将从激光废物流中捕获氖气气体,而当地合作伙伴将净化回收的氖气。 

在光刻过程中使用后,氖气通常会被芯片制造商发射到空气中。为了回收气体,合作伙伴将使用洗涤器来捕捉氖气气体,然后在光刻后将其收集在一个水箱中。

然后,这些气体被有选择地分离和提纯,使用TEM的气体处理工艺,然后被供应给KKHynix用于半导体制造。

该公司透露,其氖气回收率为72.7%,尽管它计划通过提高净化率将回收率提高到77%。

该公司的一位发言人说:"通过与其在各自领域拥有专业知识的材料和设备合作伙伴的密切合作和协同作用,SkHynix能够开发这种技术。

该技术的开发由韩国科学院碳管理委员会的一个小组委员会领导。物料回收署负责确保非化学改性物料的回收技术 

到2025年,该公司的目标是开发总共10种原材料的回收技术,包括氖气、氢和氦气体。

在发布了促进回收材料使用的中长期路线图之后,kkHynix计划到2025年将产品中使用的回收材料比例提高到25%,到2030年提高到30%以上。

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